艾森股份：KrF光刻膠下一步將在頭部晶圓廠上線測(cè)試

每日經(jīng)濟(jì)新聞 2025-11-13 18:30:09

每經(jīng)AI快訊，11月13日，艾森股份(688720.SH)發(fā)布投資者關(guān)系活動(dòng)記錄表，目前公司KrF光刻膠AR（深寬比）>13，主要應(yīng)用于CISisolation等高深寬比結(jié)構(gòu)，包括存儲(chǔ)芯片的相應(yīng)結(jié)構(gòu)，下一步將在頭部晶圓廠上線測(cè)試。

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