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中國電科實現(xiàn)國產(chǎn)離子注入機28納米工藝全覆蓋

2023-06-29 11:07:28

每經(jīng)AI快訊，記者29日從中國電子科技集團有限公司獲悉，該集團旗下中電科電子裝備集團有限公司已實現(xiàn)國產(chǎn)離子注入機28納米工藝制程全覆蓋，有力保障我國集成電路制造行業(yè)在成熟制程領域的產(chǎn)業(yè)安全。（新華社）

責編 張喜威

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